Cryo-Plex 16低温泵16英寸口径
成熟的低温泵设计 - 高容量和高性能
Cryo-Plex16低温泵是一种高容量低温泵，具有成熟的双级冷头设计（吉福德/麦克马洪原理）高抽速捕捉水蒸汽和气体，实现无油，高和超高真空。Cryo-Plex16低温泵是专为大型真空应用，可靠性，性能和容量是非常重要的。
主要特点与优势
单台低温泵解决方案
单独一台Cryo-Plex16低温泵即可满足容量和性能要求的许多大腔室应用。单台低温泵解决方案简化了安装和维护，提高工作效率和降低总成本，使Cryo-Plex16成为低温泵箱涂层系统，空间模拟室和电子束镀膜系统的*佳解决方案。
工业标准设计
Cryo-Plex16个进口法兰配置符合行业标准的国际标准化组织（ISO）和CVC规格，可无缝集成到现有的工艺设施，方便与其他OEM冷泵交换。
灵活的配置
完备的生产线，低温泵配件支持灵活的配置，以确保可靠性和*佳性能。Cryo-Plex16低温泵基于行业标准或定制设计，可以安全地安装在任何方向。硅二极管或氢蒸汽球（HVB）传感器在第二阶段测量温度，以帮助控制再生过程中（双二极管也可用）。
亮点
高容量，高性能的设计
可靠的高速无油的高和超高真空
二十年的历史，成熟的技术和专业的设计
行业标准的兼容性，可无缝集成到现有设施
优化的监视和控制（可选）
全球销售和24×7支持
美国制造
Cryo-Plex 16 技术参数
气体抽速 (升/)
空气 5,000
水蒸气 16,000
氢气 5,000
氩气 4,200
气体容量 – 标准升
氩气 2,500 torr-liters
氢气@ 5X10-6 15 torr-liters
吞吐量
氩气 500 scc / minute
交叉 300 torr-liters
物理规格
重量 160 lb. (72.7 kg)
整体高度/法兰标准 23.2 inches (58.9 cm) /CVC
23.1 inches (58.7 cm) / ISO
*大法兰直径/标准 18.0 inches (45.7 cm) / CVC
17.7 inches (44.9 cm) / ISO
进气法兰尺寸 / 标准 16 inch /CVC
NW 400 / ISO
冷却时间(达到 20 K)
60 Hz 150 minutes
联系人：
聂禄君 +86-21-56830192 +86-18201968671 |
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